機電一體化的開展大體能夠分為3個階段。20世紀60年代以前為第一階段，這一階段稱為初級階段。在這一時期，人們自覺不自覺有利地勢用電子技能的開端效果來完善機械產(chǎn)品的功能。特別是在第二次世界大戰(zhàn)期間，戰(zhàn)役影響了機械產(chǎn)品與電子技能的結(jié)合，這些機電結(jié)合的軍用技能，戰(zhàn)后轉(zhuǎn)為民用，對戰(zhàn)后經(jīng)濟的康復起了活躍的效果。那時研發(fā)和開發(fā)從總體上看還處于自發(fā)狀況。因為其時電子技能的開展尚未達到必定水平，機械技能與電子技能的結(jié)合還不可能廣泛和深入開展，現(xiàn)已開發(fā)的產(chǎn)品也無法很多推行。

20世紀70~80年代為第二階段，可稱為繁榮開展階段。這一時期，計算機技能、操控技能、通訊技能的開展，為機電一體化的開展奠定了技能根底。大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路和微型計算機的迅猛開展，為機電一體化的開展供給了充沛的物質(zhì)根底。這個時期的特點是：①mechatronics一詞首先在日本被遍及承受，大約到20世紀80年代晚期在世界范圍內(nèi)得到比較廣泛的承認；②機電一體化技能和產(chǎn)品得到了極大開展；③各國均開端對機電一體化技能和產(chǎn)品處以很大的重視和支持。

20世紀90年代后期，開端了機電一體化技能向智能化方向跨進的新階段，機電一體化進入深入開展時期。一方面，光學、通訊技能等進入了機電一體化，微細加工技能也在機電一體化中嶄露頭腳，呈現(xiàn)了光機電一體化和微機電一體化等新分支；另一方面臨機電一體化系統(tǒng)的建模規(guī)劃、分析和集成方法，機電一體化的學科系統(tǒng)和開展趨勢都進行了深入研討。一起，因為人工智能技能、神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)技能及光纖技能等范疇獲得的巨大進步，為機電一體化技能拓荒了開展的廣闊天地。這些研討，將促進機電一體化進一步樹立完好的根底和逐步構(gòu)成完好的科學系統(tǒng)。

我國是從20世紀80年代初才開端在這方面研討和使用。國務(wù)院成立了機電一體化領(lǐng)導小組并將該技能列為“863方案”中。在制定“九五”規(guī)劃和2010年開展大綱時充沛考慮了國際上關(guān)于機電一體化技能的開展動向和由此可能帶來的影響。許多大專院校、研討機構(gòu)及一些大中型企業(yè)對這一技能的開展及使用做了很多的作業(yè)，現(xiàn)已獲得了必定效果，但與日本等先進國家比較仍有適當距離。